「フロンティアシステム」がこれまでに手掛けた、工場の生産ラインにおける検査装置の実績・検査事例の詳細についてご紹介します。システム構成や検出画像、特長コメントを掲載しております。

ガラス

ガラス基板欠陥検査

検査対象 サイズ 4.6~5インチ
検査項目 0.3mm以上のキズ・ムラ・異物・汚れ・液ダレなど
導入装置 KE-XGXMシリーズ

システム構成

KE-XGXMシリーズ

システム構成

検出画像

ガラス基板欠陥検査

欠点撮像画像01

  • ガラス基板欠陥検査

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検査概要

検査仕様

①種類:ガラス基板
②色:黒(レジスト面、ガラス面)
③サイズ:4.6~5インチ(7インチ MAX)
④厚み:0.3mm~0.6mm
⑤ラインスピード:4m/min
⑥カメラ台数:幅方向に4台(表裏各光学別検査、合計20台)
⑦最小欠陥:0.3mm以上のキズ・ムラ・異物・汚れ・液ダレ
⑧検出分解能:X幅方向 0.1mm/bit、Y流れ方向 0.1mm/SCAN(4m/min時)
⑨検査項目:ワレ・カケ・キズ・汚れ・異物・気泡・脈理など

フロンティアシステムからのコメント

特長

本システムは、ガラス基板の表面と裏面をそれぞれ4台のラインセンサカメラと、透過型と反射型のLEDライン照明で検査する構成です。
対象となる欠点の特徴別に光学系を組み合わせて、枚葉ガラス基板の全面検査を可能とした独自の検査ステージです。

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